18英寸 半导体晶圆搬运设备
设备介绍
设备应用
硅片储存容器转移到储存容器
使用环境
100级左右的无尘室
对应尺寸
18英寸（φ450毫米）
运输
通过自动搬运，可以将晶圆安全、洁净地移动。
安全性
驱动单元的门是互锁的，以防止因疏忽而造成事故。
可操作性
可以使用触摸面板设置各种条件。
可以使用触摸面板设置从顶部存储和从底部存储的传输条件。
其他
可手动操作，可轻松进行位置调整等维护作业。
主要规格
主要电源
200V/φ3+E/40A
驱动部分
伺服电机
设备外部材料
PVC盖+SUS钣金盖
设备组装尺寸（mm）
1450(W) × 1570(D) × 1800(H)
外观图
